个人资料
- 直属机构：光电科学与工程学院
- 联系电话：
- 性别：男
- 电子邮箱：cdliu078@suda.edu.cn
- 专业技术职务：
- 办公地址：江苏省江苏省苏州市姑苏区18新利体育 天赐庄校区激光楼411
- 毕业院校：中国科学院大学
- 通讯地址：
- 学位：工学博士
- 邮编：
- 学历：博士
- 传真：
教育经历
教育经历：
- 本科,2003年9月-2008年7月,物理学,中国科学技术大学,理学学士
- 硕士研究生,2008年9月-2011年7月,原子分子物理,中国科学院研究生院,理学硕士
- 博士研究生,2014年9月-2019年7月,光学工程,中国科学院大学,工学博士
工作经历
工作经历：
- 2011年9月-2013年12月,中国科学院光电技术研究所,光刻镀膜,研究实习员
- 2014年1月-2019年3月,中国科学院光电技术研究所,光刻机开发,助理研究员
- 2019年4月-2023年5月,中国科学院光电技术研究所,光刻机研发,副研究员
- 2023年6月-,18新利体育 ,半导体光电薄膜工程,教授
个人简历
个人简介：
研究领域
研究领域：
1. 高端光刻机光学器件科学技术
2. 原子层沉积镀膜工艺技术应用
3. 大科学工程高精度光声电探测
4. 高能激光系统新颖物理及应用
开授课程
开授课程：课程教学：
科研项目
科研项目：
- 1、大口径微纳光学元件原子层沉积镀膜设备,2020.1,中国科学院仪器设备研发专项（青年项目）,中国科学院,YJKYYQ20190066
论文
论文：
- 1、 Effect of porosity on thickness uniformity of MgF2 films on spherical substrates,Optics Express,SCI,2022,柳存定
- 2、Vacuum ultraviolet high-reflectance aluminum mirrors on copper substrate for application in noble liquid time projection chamber,Vacuum,SCI,2022,柳存定
- 3、erformance optimization of 193 nm antireflective coatings with wide incident angle ranges on strongly curved spherical substrates,Optics Express,SCI,2018,柳存定
- 4、Characterization of single LaF3 and MgF2 films on spherical substrate by planetary deposition, Thin solid films,SCI,2016,柳存定
- 5、Anomalous optical Anderson localization in mixed one dimensional photonic quasicrystals,Optics Express,SCI,2015,柳存定
- 6、Tamm plasmon-polariton with negative group velocity induced by a negative index meta-material capping layer at metal-Bragg reflector interface,Optics Express,SCI,2014,柳存定
- 7、Theoretical design of shadowing masks for uniform coatings on spherical substrates in planetary rotation systems,Optics Express,SCI,2012,柳存定
- 8、Molecular orientations and interfacial structure of C60 on Pt(111),Journal of Chemical Physics,SCI,2011,柳存定
科技成果
软件著作 软件著作： 专利 专利：
- 1、一种行星转动装置及能实现大批量生产的镀膜设备,柳存定,发明,授权
- 2、一种行星转动镀膜机上薄膜厚度直接光控的安装方法,柳存定,发明,授权
- 3、一种真空镀膜机行星转动夹具上球面光学元件镀膜均匀性修正挡板的设计方法,柳存定,发明,授权
- 4、一种提高大口径球面光学元件深紫外增透膜透射率均匀性的方法,柳存定,发明,授权
- 5、一种原子层沉积镀膜机的真空控制系统,柳存定,发明,授权
- 6、一种镀膜厚度控制装置和方法,柳存定,发明,授权
- 7、一种确定有机薄膜光学常数和厚度的方法,柳存定,发明,授权
- 8、一种衍射光学器件表面增透膜的镀膜方法,柳存定,发明,授权
- 9、一种铜基板表面真空紫外铝反射镜的镀膜方法,柳存定,发明,受理
荣誉及奖励
荣誉及奖励：
- 1、中国科学院青年创新促进会,中国科学院,2016年,人才项目
- 2、湖北省优秀硕士论文,中国科学院武汉分院,柳存定,2012年12月,省部级
招生信息
招生信息：
欢迎光学、物理、光学工程、材料科学等相关专业本科及硕士毕业生报考研究生。
实验室常年招收校内各年级光学、光学工程、物理、材料科学、计算机等专业本科生从事大学生创新型课题研究，欢迎咨询。