冷场发射扫描电镜及其配套能谱仪

日本HITACHI 8100

存放地：908幢2329

  本仪器主要用于观察材料微观结构，以及分析材料中元素成分及其含量。①加速电压0.5KV-30 KV；②冷场发射型，二次电子图象分辨率：1KV, WD=4mm时为1.5nm；15KV,WD=4mm时为0.7 nm；③最大放大倍数约30倍-200万倍； ④非定量元素分析：X射线能谱元素分析范围Be-U92。谱线分辨率129.25eV。