具有形貌、光学和电学测量等原位表征功能的一体化蒸发仪

所属领域：智能装备

本公司将从真空腔设计开始，自主开发样品台、蒸发源和超长工作距离显微镜，并将他们与探针台及光谱仪总装集成，研制一台具有形貌、光学和电学测量等原位表征功能的蒸发仪。将发展并完善自主开发的任意角度有机蒸发源，使样品的生长方式便于超长工作距离显微镜实时的对薄膜形貌进行原位监测。此外，拟研制的系统还可以对单个有机薄膜畴进行光学和电学测量，实现生长和光电性能的原位演化记录。