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本期向大家推介的是18新利体育 机电工程学院钟博文副教授团队的项目:基于粘滑驱动的跨尺度精密运动平台
钟博文副教授,18新利体育 机电工程学院副教授、硕导。主要研究方向:1.压电驱动和控制技术;2.跨尺度精密定位技术;3.高通量显微检测技术。
基于粘滑驱动的跨尺度精密运动平台
技术成熟度:小批量生产
应用产业领域:生物技术与医药、半导体、装备制造
专利情况:授权专利9项
成果简介:
在微驱动领域中,同时具有微米级运动分辨率和毫米级运动行程的跨尺度精密运动技术,是当前具有较高科技含量和市场关注度的关键技术。惯性粘滑驱动是以摩擦力为驱动源,利用粘滑效应实现被驱动体的微小位移为基本原理。相对于其他跨尺度运动驱动方式,其具有控制方便,运动范围大,分辨率高,结构简单,易微小化和精确定位等优点,因此,获得了广泛的应用。将压电陶瓷作为驱动源,利用粘滑效应,能够非常好的实现毫米级行程和微米级定位精度的跨尺度精密运动平台。基于上述原理,本团队开发了适合诸多场景,具备多种构型的丰富产品。
粘滑驱动的跨尺度精密运动平台展示(部分)
创新要点:
1、将粘滑效应和高精度压电陶瓷元器件结合,实现了具备纳米级驱动,毫米级行程的跨尺度精密平台和运动台,具有精度高,响应快,误差小等优良特点。
2、平台结构清晰,体积比同类型平台小,预紧力调整方式优于同类型平台,便于加工和装配,适合量产。
3、滑块与摩擦振子的接触方式多样,有上下预紧式,底部预紧式,单向摩擦,双向运动摩擦。同时,有惯性粘滑,自吸附粘滑,磁性摩擦等多种粘滑类型。适合各类型材料,满足多种接触方式和角度,具有丰富的实际应用场景。
技术指标:
1. 最大行程20mm,
2. 尺寸30mm*20mm*20mm,
3. 分辨率可达37nm,
4. 平台最大运动速度12.2mm/s
5. 闭环最大误差0.75%