“苏集创”18新利体育 创新成果推介(40)——微纳米尺度图形化薄膜阵列的介电测试夹具

发布者:柳鑫发布时间:2023-03-09浏览次数:10

“苏集创”是依托18新利体育 国家技术转移中心(18新利体育 知识产权运营中心),紧密围绕苏州产业创新集群布局,以18新利体育 等国内外知名高校、科研院所、技术创新中心的集成创新成果为标的,构建科技、产业、资本深度融合的成果发布平台。


本期向大家推介的是18新利体育 物理科学与技术学院汤如俊教授团队的项目:微纳米尺度图形化薄膜阵列的介电测试夹具》


汤如俊教授,18新利体育 物理科学与技术学院

主要研究领域:磁电功能薄膜材料、物理与器件

具体包括:

1.磁性薄膜/纳米结构磁电性质的多场调控(实验+微磁学模拟)

2.5G/6G通讯微波材料与器件

3.柔性磁电材料与传感器件


微纳米尺度图形化薄膜阵列的介电测试夹具


技术成熟度:研制

专利情况:ZL202010251069.7


成果简介:

介电性能是材料特性的重要组成部分,介电特性测量可以为许多电子应用提供介电常数、介电损耗、磁导率等关键信息。材料的介电特性测试通常使用网络分析仪、阻抗分析仪、LCR表等仪器,根据样品的种类,配合特定的样品测试夹具,在不同温度和电磁场环境中进行测试。近年来,研究发现在不同外加磁场下某些材料的介电性能会发生变化,称为材料的磁介电特性。具有磁介电特性的薄膜材料在多场传感器和换能器等器件中具有重要应用前景。

薄膜材料的磁介电特性测试通常与介电性能测试相似。用现有成熟的介电测试夹具可以基本满足较大尺寸的样品测试需要,包括平面尺度较大但厚度在微纳米尺度的薄膜样品。随着器件尺寸的微型化,微型点状薄膜单元及其图形化阵列在器件中会运用得越来越广泛。但对于平面尺寸低于微米尺度的图形化薄膜阵列的介电和磁介电性能测试,目前有效测试的手段还是比较有限。


针对微纳米尺寸图形化薄膜阵列的低成本介电测试夹具


创新要点:

本发明设计了一种针对微纳米尺寸图形化薄膜阵列的低成本介电测试方法和相应夹具。该介电测试方法操作方法简单,所需配件可以成本低,可快速测试样品,导线和电极链接时不会污染样品。配套的测试夹具需要具有较小的体积,可以灵活地配合其他测量仪器,对样品施加可调节的磁场、温度、光照等条件,进行多功能的介电测试。对微纳米尺度薄膜点阵样品进行性能测试后,可以通过简单的模型拟合计算即得到等效的介电和磁介电性能参数。


技术指标:

本测试方法使用的测试系统主要包括三个部分:

1.带接线电极的绝缘材质样品台。

2.带接线电极的高平整度上电极板。

3.固定上电极板和样品接触的夹具。