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“微纳制造技术”课程学生参观活动圆满结束

时间:2022-11-26来源:有机单晶光电材料与器件实验室点击:594

2022年11月26日中午一点,“微纳制造技术”课程的学生进组参观,参观活动全程1小时左右,由师艳迪和任晓斌组织,多位高年级研究生参与参观讲解及介绍。

任晓斌带领大家参观实验室,对实验室做基本介绍,展示经光刻及RIE等加工后的片子,展示电子束曝光加工的图案和器件。

  

王超强展示单晶器件的制备以及单晶LED的发光。

  

施加林展示喷墨打印工艺。

  

张裕健展示介绍ALD绝缘层加工工艺。

  

  

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