2022年11月26日中午一点,“微纳制造技术”课程的学生进组参观,参观活动全程1小时左右,由师艳迪和任晓斌组织,多位高年级研究生参与参观讲解及介绍。
任晓斌带领大家参观实验室,对实验室做基本介绍,展示经光刻及RIE等加工后的片子,展示电子束曝光加工的图案和器件。
王超强展示单晶器件的制备以及单晶LED的发光。
施加林展示喷墨打印工艺。
张裕健展示介绍ALD绝缘层加工工艺。