原位薄膜应力测试系统
时间:2017年07月10日 编辑:1

仪器名称: 原位薄膜应力测试系统

英文名:  In situ film stress test system

仪器编号:  00247120

厂家:  美国k-Space Associates公司

仪器型号:  KSA MOS

单价(元):  410922

购置时间:  2014-6-4

存放地点: 18新利体育 南校区骨科研究所1#楼315实验室

保管单位: 骨科研究所

联系人: 刘慧玲

 

共享级别:   校内外共享 现状: 良好预约仪器

技术指标:

1. XY双向程序控制扫描平台扫描范围:200mm;300mm (XY);   2. 扫描速度:最大20mm/s(x,y); 3. XY双向扫描平台扫描最小步进/分辨率:2 μm; 4. 平均曲率分辨率:优于2e-5 (1/m) 1-sigma; 5. 薄膜应力测量范围:5×105到4*1010dynes/cm2(或者5×104Pa to 4×109Pa); 6. 应力测量分辨率:优于0.1MPa; 7. 测量重复性:优于0.1%; 8. 平均曲率重复性:<2×10-5 1/m (1 sigma); 9. 测量精度:优于±0.1%;   10. 程序化控制扫描模式:选定区域、多点线性扫描、全面积扫描; 11. 成像功能:样品表面2D曲率成像,定量薄膜应力成像分析; 12. 12. 测量功能:曲率、曲率半径、应力强度、应力和翘曲等; 13. 二维5*5激光阵列测量技术:不但可以对样品表面迚行二维曲率成像分析;而且这种设计始终保证所有阵列的激光光点始终在同一频率运动或扫描,从而有效的避免了外界振动对测试结果的影响;同时大大提高了测试的分辨率;  

主要功能用途:

原位薄膜应力测试系统不但可以对薄膜的应力、表面曲率和翘曲进行原位精确的测量,而且还可二维应力Mapping成像统计和实时应力测量与分析。采用二维激光阵列测量技术,以超稳定单一激光源为基础,借助精密光学器件进行二维分光,不但可以对样品表面进行二维曲率成像分析,而且可以同时测试薄膜沿X、Y轴向的双轴应力;同时保证所有阵列的激光光点始终在同一频率运动或扫描,从而有效的避免了外界振动对测试结果的影响。   原位薄膜应力测试系统作为涂层材料力学测试的精确表征手段,在人工关节涂层材料相关的前沿课题研究中,属于迫切需要配置的仪器。该仪器的购置将极大地促进研究所在骨科生物材料、生物力学、骨科器械材料、骨外科学等方面的研究。另外,原位薄膜应力测试系统的精密性和应用的广泛性,该仪器也可为校内外材料科学、物理科学薄膜材料研究与分析等提供相关服务。  

附件:

高分辨、高灵敏度8位单色CCD检测系统; 激光和光学系统;   自动光学追踪系统; XY方向线性扫描样品台和5相步进控制器; Dell计算机、MOS数据采集和系统控制电路板; 测量分析软件。

仪器培训:


收费参考标准: