仪器名称 | Parylene镀膜设备 |
厂家 | 凯瑞纳米 |
型号 | KR350HS |
主要规格及技术指标 | 真空泵：28 m3/H，极限0.75 Pa 冷阱：≤-90 ℃ 裂解炉：650 ℃~800 ℃ 蒸发温度：室温~200 ℃，温度偏差：±2 ℃ |
主要功能及应用范围 | 用于Parylene涂层的化学气相沉积制备。Parylene涂层可用于电路板、微电子半导体产品和医疗产品等的涂敷保护，可用于制备透明柔性衬底等。 |
联系人 | 刘艳云 |
联系电话 | 65883196 |
yyliu1@suda.edu.cn |
责任编辑：朱文昌