电子束蒸发镀膜机 | ||
型号 | PVD75 | |
厂家 | 科特莱思科(上海)商贸有限公司 | |
主要规格及技术指标 | 1.基片尺寸≤Ф12英寸 3.极限真空度:5×10-5 Pa 5.衬底温度:350 ℃ 7.样平台转速:≤20 r/min 9.镀膜均匀性:±5%(Al) | 2.电子枪功率:5-10 KW 4.真空抽速:3*10-4 Pa/20 min 6.温度均匀性:±10 ℃ 8.坩埚数量:4 10.控制系统:PC+PLC自动控制 |
主要功能及应用范围 | 电子蒸发镀膜机是一种普适镀膜机,用于镀制各种单层膜、多层膜。可镀各种硬质膜、金属膜。主要用于制备纳米器件、有机光电器件的金属电极,以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。 | |
主要附件 | 机械泵 | |
联系人 | 朱文昌 | |
联系电话 | 15301453461 | |
wczhu@suda.edu.cn |
责任编辑:朱文昌