仪器名称 | 原子层沉积系统 |
型号 | Savannah-100 |
厂家 | 美国Cambridge Nano Tech公司 |
主要规格及技术指标 | 1. 具有4路前驱体源,其中1路不加热,另3路加热温度≥200 ℃。 2. 样品基底最大直径4英寸。 3. 最大沉积温度不高于300 ℃。 4.设备使用氮气做载气,控制载气流量10-1000 sccm。 |
主要功能及应用范围 | 该原子沉积系统主要用于实验室级的薄膜制备,特别是致力于有机发光显示(OLED)的封装和场效应晶体管(FET)的介质层的层积。 |
主要附件 | 机械泵 |
联系人 | 朱文昌 |
联系电话 | 15301453461 |
责任编辑:朱文昌