微纳技术包含微米/纳米电子器件研究、加工与测量技术，以及微/纳机电系统。微机电系统（MEMS）指可批量制作集微型结构、微型传感器、微型执行器及信号处理和控制电路，直至接口、通讯和电源等成为一体的器件或系统，应用十分广泛。
通过该课程，一是让学生了解微纳技术、走进MEMS传感器的世界、感知由微纳技术引起的传感技术的革命，推动MEMS传感器的研究和广泛应用，让微纳技术走进社会；二是培养学生获取信息的能力、交流与沟通能力，引导学生逐渐进入MEMS传感器的世界；三是让学生掌握求知的途径和方法（特别是基于现代信息技术），感染学生创新能力和人文素质的提升。